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2021-06-18
氦質(zhì)譜檢漏儀的工作原理
今天科儀創(chuàng)新的小編和大家分享的是氦質(zhì)譜檢漏儀的工作原理，希望對(duì)您有所幫助！
氦質(zhì)譜檢漏儀是一種以氦氣作為示漏氣體專門用于檢漏的質(zhì)譜分析儀器。其基本工作原理是采集被檢件中的氣體樣品并將其電離，根據(jù)不同種類氣體離子質(zhì)荷比不同的特點(diǎn)，利用磁偏轉(zhuǎn)分離原理將其區(qū)分開來。儀器對(duì)其示漏氣體氦氣有響應(yīng)信號(hào)，而對(duì)其他氣體沒有響應(yīng)，從而檢漏。在示值誤差測量中，每一標(biāo)準(zhǔn)漏孔用氦質(zhì)譜檢漏儀重復(fù)測量三次，可用公式(2)計(jì)算氦質(zhì)譜檢漏儀在該漏率下的重復(fù)性。
氦質(zhì)譜檢漏儀的原理
氦質(zhì)譜檢漏儀一般由質(zhì)譜管，真空系統(tǒng)和電子系統(tǒng)組成。其中質(zhì)譜管包括離子源，質(zhì)量分析器和離子檢測器; 真空系統(tǒng)一般由分子泵、機(jī)械泵、電磁閥和真空計(jì)組成。離子源的作用是將原子電離成帶電離子并聚焦成束，以一定能量注入質(zhì)分析器，
目前常用的電子轟擊型離子源有尼爾型和震蕩型兩種形式。質(zhì)分析器的作用起將各類離子按其質(zhì)荷比的不同實(shí)現(xiàn)分離。
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氦質(zhì)譜檢漏儀的特點(diǎn)
北京科儀創(chuàng)新真空技術(shù)有限公司（簡稱：科儀創(chuàng)新）出資成立，創(chuàng)建于2015年，注冊(cè)資金500萬。是國內(nèi)新興的一家專業(yè)從事真空領(lǐng)域的高新技術(shù)企業(yè)。
1.檢測時(shí)間和周期非常短，可以達(dá)到5s以內(nèi)；
2.檢測的介質(zhì)比較常用，僅需壓縮空氣即可；
3.不會(huì)受到主觀因素判斷的影響；
4.檢測的數(shù)據(jù)精準(zhǔn)；
5.自動(dòng)生成數(shù)據(jù)保存，可追溯數(shù)據(jù)來源。
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氦質(zhì)譜檢漏儀的結(jié)構(gòu)和工作原理
氦質(zhì)譜檢漏儀是180°磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計(jì)，其基本原理是根據(jù)離子在磁場中運(yùn)動(dòng)時(shí)，不同質(zhì)荷比的離子具有不同的偏轉(zhuǎn)半徑來實(shí)現(xiàn)不同種類離子的分離。檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)及電氣控制部分組成。檢漏工作時(shí)先打開抽空閥前級(jí)泵對(duì)檢漏接口抽真空，當(dāng)真空度P1 優(yōu)于200 Pa 時(shí)，打開入口閥1、2，關(guān)閉抽空閥，氦氣將逆著分子泵的抽氣方向進(jìn)入質(zhì)譜室中被檢測出來，此時(shí)檢漏儀的較小可檢漏率為10- 10 Pa·m3/s。前級(jí)泵繼續(xù)對(duì)檢漏接口抽真空，當(dāng)P1降至20 Pa 時(shí)，入口閥2 關(guān)閉，入口閥3 打開，分子泵的高抽速用于抽空試件，檢漏儀的反應(yīng)時(shí)間縮短，此時(shí)檢漏儀的較小可檢漏率為10- 12 Pa·m3/s。氦質(zhì)譜檢漏儀熱管檢漏熱管熱管(HeatPipe)是利用熱傳導(dǎo)原理與致冷介質(zhì)的快速熱傳遞性質(zhì)，透過熱管將發(fā)熱物體的熱量迅速傳遞到熱源外，其導(dǎo)熱能力超過任何已知金屬的導(dǎo)熱能力。
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